收购芯嵛，深入离子注入设备业务，成长路径进一步清晰
广发电子团队华海清科收购芯嵛剩余股权拓展离子注入全新成长空间
离子注入机客户持续拓展，平台化布局顺利推进
盈利能力提升，业绩离子注入机经营拐点
跟踪报告之一：离子注入机取得重大进展，国产化未来可期
2021年报&2022一季报点评：离子注入机批量交付，子公司嘉芯正式启动运营
系列跟踪报告之六：离子注入机大额订单落地，国产化持续放量
离子注入收入大增，在手订单饱满
国内离子注入新秀，有望步入国产替代快车道
离子注入机在手订单超6.8亿元，首批设备顺利发货
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