晶圆减薄的方式为单面(背面)减薄,包括转台式磨削和硅片旋转磨削两种

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数据来源:《单晶硅片超精密磨削技术与设备》,东吴证券研究所

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  • 数据类型:其他
  • 行业分类:工业制造
  • 发布日期:2024-04-15
  • 文件格式:PNG、XLSX